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氦質譜檢漏儀Helium Mass SpectrometerLeakDetector用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。氦質譜檢漏儀通常由真空系統、質譜室及測量電路組成, 其中核心為質譜室。質譜室又由離子源、分析器、收集器三部分組成。